单晶碳化硅

抗原子氧侵蚀

经原子氧侵蚀后,其Si面材料能快速形成非晶氧化层保护内部晶体结构,维持更好的力学性能。

Hao, Ren · Qiu, Yisong · 叶宏飞 · Junjie, Zhang · Kunjun, Han · 郑勇刚

Journal of Physical Chemistry C 2025

技术优势

表面形成保护层

Si面在原子氧侵蚀下迅速形成非晶氧化层,能有效保护内部晶体结构不受进一步损伤。

力学性能全面优于C面

经原子氧侵蚀后,Si面材料的单轴拉伸、压缩和表面力学性能均优于C面材料。

表面恢复能力增强

非晶化过程提升了材料表面的恢复能力,有助于抵抗后续变形。

应用场景