抗原子氧侵蚀
经原子氧侵蚀后,其Si面材料能快速形成非晶氧化层保护内部晶体结构,维持更好的力学性能。
Hao, Ren · Qiu, Yisong · 叶宏飞 · Junjie, Zhang · Kunjun, Han · 郑勇刚
Journal of Physical Chemistry C 2025
Si面在原子氧侵蚀下迅速形成非晶氧化层,能有效保护内部晶体结构不受进一步损伤。
经原子氧侵蚀后,Si面材料的单轴拉伸、压缩和表面力学性能均优于C面材料。
非晶化过程提升了材料表面的恢复能力,有助于抵抗后续变形。