非谐振光声臭氧传感器

微型化高精度

该传感器结合MEMS发射器与麦克风，以极小体积实现对臭氧浓度的快速、高精度检测，为半导体、水处理等领域提供便携式监测方案。

Xu, Maosen · Li, Liu · Wei, Tian · 徐岩 · 陶继方

IEEE Sensors Journal 2024

具体参数

尺寸

约12 mm

ppm

0 %

检测限

36 ppm

技术优势

响应时间57 s