ScAlN压电MEMS扬声器

全频段90dB以上

通过多模态激发同时利用一阶和三阶谐振，在不增大尺寸的前提下实现宽带高声压输出。

余洪斌

Sensors and Actuators, A: Physical 2025

参数信息

with active area

3.2 mm²

可达

100 dB

低至

0.52 %

驱动电压

30 Vpp