低温生长低缺陷
冷凝辅助CVD法在400 °C低温下合成,缺陷密度极低且氮掺杂高效。
Zhichao, Guo · Zhenya, Ye · Mengqing, Yin · Shixun, Dai · Xiaohui, Zhang · 汪伟 · 刘兆平
Materials 2023
ID/IG < 0.35