铁电Al0.65Sc0.35N膜

耐疲劳里程碑

一种通过物理气相沉积生长的Al0.65Sc0.35N铁电薄膜，在保持高剩余极化的同时，实现了前所未有的开关循环耐久性，为低功耗非易失性存储提供了可靠的候选材料。

Yang, Li · 姚丹阳 · Yan, Liu · Zhi, Jiang · Ruiqing, Wang · Xu, Ran · 周久人 · Qikun, Wang · Guoqiang, Wu · 韩根全

Science China Information Sciences 2024

具体参数

矫顽场

2.70 MV/cm

剩余极化

143 µC/cm²

技术优势

在5×10⁷次开关循环后无显著退化