抑制Ta扩散 维持氧化膜完整
该涂层通过氧掺杂优先氧化涂层中的Al,抑制了Ta向氧化膜的扩散,解决了Ta破坏Al₂O₃膜的问题,同时需平衡氧含量以避免氧化膜剥落。
孟博 · 杨兰兰 · 王群昌 · 王金龙 · 陈明辉 · 朱圣龙 · Wang, Fuhui
Journal of Materials Science and Technology 2024
氧掺杂使Ta被截留在涂层中,无法扩散至表面氧化膜,从而维持Al2O3膜的完整性。
过量氧掺杂消耗过多Al,减少形成Al2O3膜所需的Al源,反而减弱对Ta氧化的抑制,并引起氧化膜剥落,因此必须精确控制氧含量。