半球壳谐振器

共聚焦轮廓测量

提出一种共聚焦测量方法，实现半球壳谐振器内外表面轮廓变化及壳厚均匀性的高精度测量。

赵维谦

Optics and Laser Technology 2024

参数信息

外表面轮廓变化重复精度优于

40 nm

壳厚均匀性重复精度优于

50 nm