SF6微热膨胀角运动传感器

灵敏度超3.5倍

采用SF6作为工作介质，通过优化传感器结构和PWM频率显著提升角速度检测灵敏度，为发展基于热膨胀原理的新型惯性传感器提供了思路。

Luo, Huahuang · Cabot, Jose · 王晓毅 · Duan, Mingzheng · 许威 · Qingqing, Ke · Lee, Yikuen

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

传感器的灵敏度

1.5631 mV/°/s

归一化灵敏度

0.0487 mV/°/s/mW

频率可使灵敏度提高

11 %

应用场景

• 惯性测量：提供高灵敏度角速度检测，提升惯性测量单元性能
• MEMS传感器：基于MEMS工艺实现热膨胀角运动传感器，兼容微加工
• 无人机稳定控制：高灵敏度角速度测量可用于无人机姿态稳定控制
• 机器人姿态传感：小型化高灵敏传感器适合机器人姿态检测与反馈