力分布系绳MEMS谐振器

锚点Q值增三倍

通过力分布设计降低声能泄漏，使锚点品质因数大幅提升，适用于高性能MEMS谐振器。

Awad, Mohammed · Workie, Temesgen Bailie · 鲍景富 · Hashimoto, Ken-ya

Micromachines 2023

具体参数

锚点品质因数

{'zh': '175000', 'en': '175000'}

无载品质因数

{'zh': '27442', 'en': '27442'}

技术优势

锚点Q值提升3倍

力被分散到更大的锚点区域，单位面积受力减小，声能耗散降低。

无载Q值同步改善

在锚点损耗降低的基础上，整体品质因数提升 1.2 倍。

与现有工艺兼容

仅改变 tether 几何形状，材料和制造流程不变。

应用场景

• MEMS谐振器：降低锚点损耗，直接提升谐振器品质因数与信号稳定性。
• 精密频率器件：低损耗 tether 使振荡器频率更稳、相位噪声更低。
• 高灵敏度传感器：高 Q 谐振器增强质量/力敏感度，提升检测极限。
• 射频通信前端：更高 Q 值的谐振器用于滤波器可减小插入损耗、改善选择性。