20 MPa 高静水压下长期稳定
首次将CMUT结构用于高静水压无源压力传感，兼具常规与塌陷工作模式，在极端压力环境下保持长期测量稳定性。
Li, Zhaodong · 张文东 · Yilmaz, Mehmet · 张国军 · Qin, Li · Wang, Renxing Xin
Microsystems and Nanoengineering 2025
在高静水压测试中可靠测量超过20 MPa的压力，表明传感器结构能承受极端压力环境而不失效。
在动态压力室放置三个月后，压力测量结果与初始一致，最大偏差仅0.65%，证明传感器具有出色的重复性和长期稳定性。
采用MEMS工艺制造，多个传感器之间的最大静态电容偏差仅为1%，有利于批量生产和一致性能。