带宽扩展至千赫兹
该传感器突破常规电容式角位置传感器的带宽限制，将可检测带宽从几赫兹扩展到几千赫兹，并通过运动模型和非线性传递函数提升角位置测量精度。
刘松涛 · 张高飞 · Zhang, Lingyun · 王俊亚 · 尤政
Microsystems and Nanoengineering 2023
通过运动特性建模，将差分电容转换为连续电容，从而将可检测带宽从几赫兹扩展到几千赫兹，满足高速扫描镜的实时监测需求。
双轴扫描角的采样率分别比传统传感器高1473.6倍和539.4倍，显著提高了角度测量的时间分辨率。
通过2D非线性角度传递函数将差分电容转换为角度，减轻了大角度带来的非线性误差，使测量精度优于0.014°。