无裂纹宽厚度
通过消除应力液相法在无支撑液桥上制备，突破临界开裂厚度限制，实现1-100μm无裂纹陶瓷薄膜，压电系数达229 pC/N。
Liu, Shiyuan · Ying, Hong · Wang, Hong · Yi, Zheng · Xiaodan, Yang · Zhang, Zhuomin · Lin, Weikang · Peng, Zehua · 姚希 · 王钻开 · 杨征保
Nature Communications 2024
利用溶液自身表面张力在网格中形成悬垂液桥，前驱体溶液无需基底支撑，从根源上避免基底诱导的应力。
在1–100 μm范围内均可制备无裂纹陶瓷薄膜，能够满足不同应用对厚度的要求。
制备的PZT薄膜压电系数d33达229 pC N⁻¹，与块体材料相当，可直接用于压电器件。
网格可定制，能够直接制备出所需拓扑结构的薄膜阵列，避免破坏性切割过程。