低相干测量系统

适应大反射率变化

该系统能够测量表面反射率差异显著的多种工业零件，并实现高精度和宽量程。

Tao, Zhang · 夏仁波 · 赵吉宾 · Jiajun, Wu · 付生鹏 · 陈月玲 · Yanyi, Sun

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2023

参数信息

测量精度

0.0017 mm

最大测量范围

29.0000 mm

技术优势

适应大反射率变化

从理论模型到光路设计都专门针对反射率变化的表面，因此能够处理从漫反射到镜面状反射的各种零件。

可测多种反射条件

实验验证了系统对漫反射、镜面反射和镜面状反射零件均能有效测量，无需针对不同表面更换装置。

应用场景

• 工业零件检测：对反射率差异大的零件进行非接触尺寸测量，替代依赖人工或接触式的检验环节。
• 精密制造：在制造过程中快速检测关键尺寸，确保装配精度和加工一致性。
• 微纳制造测量：为微纳器件提供高精度非破坏性测量，避免接触损伤。