MFC并联粘滑平台

大行程高载低回退

以宏观纤维复合材料驱动的三自由度平面并联平台，实现大单步位移、高负载与低回退，适合高精度定位场合。

Lingwei, Meng · 杨依领 · Yang, Lv · Wu, Gaohua · 崔玉国

Precision Engineering 2025

参数信息

X轴单步位移

301.6 μm

Y轴单步位移

292.9 μm

Z轴旋转单步位移

9.947 mrad

最大垂直负载

110 N

平移运动回退率

0.56 %

旋转运动回退率

2.79 %

技术优势

单步位移大

拱形MFC驱动单元产生301.6 μm的X轴单步位移，远超传统压电平台。

能扛高负载

柱子支撑设计使平台能承受110 N垂直负载。

回退几乎消除

协同驱动方法将平移回退率从62.9%降至0.56%，旋转回退率从46.8%降至2.79%，定位精度显著提升。

应用场景

• 精密定位平台：为精密定位提供大行程、高负载、低回退的运动平台。
• 微装配：大行程和低回退利于微零件的高精度拾放与装配。
• 光学调校：三自由度解耦运动可精确调整光学元件位姿。
• 纳米压印：高负载能力适应压印过程中的接触压力需求。
• 显微操作：低回退的精细步进适合显微尺度下的精确操作。