甘氨酸抛光液

无酸碱抛光

利用甘氨酸实现单晶蓝宝石衬底的无酸碱高速抛光，兼顾表面质量与绿色工艺。

柯聪明 · Yiao, Pang · Zhang, Zongnan · Shoulin, Liu · 吴雅苹 · Luo, Qiufa · 徐仰立 · 陆静

Materials Today Communications 2024

具体参数

最大材料去除率

{'zh': '5.37', 'en': ''} μm/h

技术优势

表面粗糙度 Ra 0.42 nm

无需任何酸碱腐蚀液