高刚度低应力
相比于纯金刚石，硼掺杂金刚石具有更高的杨氏模量和刚度，且在压痕过程中应力集中和位错数量更少，为超精密加工提供了更稳定的材料基础。
Xin, Liu · 彭卫平 · 申胜男 · Zhenshen, Deng
Diamond and Related Materials 2025
硼掺杂金刚石在(001)晶面上表现出比纯金刚石更高的刚度，意味着在相同载荷下变形更小，有利于保持加工精度。
在纳米压痕加载过程中，硼掺杂金刚石应力集中区的等效von Mises应力低于纯金刚石，有助于避免局部过早失效。
硼掺杂金刚石在压痕过程中产生的位错数量少于纯金刚石，减少了塑性损伤累积，有利于延长器件寿命。