单器件微调时间从1小时减至1分钟内
基于皮秒激光与图像识别，实现硅MEMS谐振器的自动化微调，以远低于飞秒系统的成本消除制造误差引起的结构刚度失衡。
Liu, Yuxian · 赵前程 · 张大成 · 崔健
2023
采用皮秒激光源替代飞秒激光源，在实现相同微调功能的同时大幅降低系统成本。
自动化方法使单个双质量音叉谐振器的微调时间从人工超过1小时缩短至不足1分钟。
自动化微调避免了人工操作的不稳定性，使精度一致性大幅改善。
基于OpenCV的形状匹配和CPDA算法自动测量谐振器图像，解决了复杂谐振器人工微调效率低下的问题。