响应度提升13倍
氮等离子体与真空退火组合工艺恢复紫磷表面洁净度,同时实现p型掺杂,大幅提升器件光响应。
Zhang, Xiangzhe · Chuyun, Deng · Yu, Tongcheng · Yan, Xingheng · Luo, Wei · Bowen, Lv · Liu, Jinxin · Cai, Junhao · Haitao, Wei · Li, Junsheng · 彭刚 · Yang, Yaping · 秦石乔
Applied Surface Science 2024
处理后光电探测器