高灵敏磁位移探头

采用双层平行电缆励磁消除背景磁场，结合磁通聚集板，让TMR传感器在测量范围内实现高分辨位移探测，对铁磁工件可达0.1 mm精度。

Wang, Shenghan · 冯搏 · Hu, Yu · Qiu, Gongzhe · Duan, Zhaoqi · 康宜华

Sensors and Actuators, A: Physical 2023

参数信息

位移测量精度

0.1 mm

线性度

4.5 %

平均相对误差

2.0 %

技术优势

量程内精度达0.1 mm

在0.5–6.0 mm范围内，探头能够实现0.1 mm的位移测量精度，满足精密测量需求。

线性度优于4.5%

在整个量程内线性度为4.5%，表明输出与位移之间具有良好线性关系，便于标定和信号处理。

平均相对误差低于2%

测量结果的平均相对误差低于2.0%，显示出高重复性和可靠性。

应用场景

• 精密位移测量：取代传统电涡流或光学传感器，用于铁磁材料微小位移的精密检测。
• 位置反馈与运动控制：为运动控制提供实时位移反馈，省去复杂的光栅或磁栅安装。
• 可穿戴设备定位：利用紧凑探头实现可穿戴设备中非接触式位置感知。