温漂减小95倍
采用石英腔结构抑制温度引起的腔长变化，在20–80 °C范围内灵敏度波动仅0.46%/°C，适用于变温环境下的微弱声学探测。
刘扬 · 李成 · Lu, Shanshan · Shuxuan, Dong · 樊尚春
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025
石英腔的热膨胀系数远低于陶瓷，使20–80 °C范围内腔长变化仅3.1 nm/°C，极大提高了灵敏度稳定性。
在1 kHz典型频率下灵敏度变化仅0.46%/°C，比陶瓷腔参考传感器小2.3倍，使传感器在变温场景下无需频繁校准。
在20 °C、17 kHz处最大机械灵敏度达395.99 nm/Pa，比以往报道的F-P声学传感器最高水平还高147%以上，可探测更微弱的声信号。