热载流子退化可修复
借助栅极诱发漏极泄漏的电场辅助放电机制,有效恢复热载流子退化,为先进节点器件的可靠性维护提供新思路。
Chang, Hao · Liu, Qianqian · 杨红 · Zhou, Longda · Ji, Zhigang · Tang, Bo · Qingzhu, Zhang · Yin, Huaxiang · 都安彦 · 李峻峰 · 罗军 · 王文武
IEEE Electron Device Letters 2023
通过增大栅极诱导漏极泄漏偏压,利用电场辅助放电从氧化层陷阱中释放电荷,显著恢复热载流子退化。
恢复效果更依赖于电场辅助放电,使得提高环境温度无法进一步提升恢复率,说明此方法可在较低温度下工作。
通过HCD/GIDL循环实验验证了长期退化恢复的有效性,器件可多次经历损伤-修复循环。