多Fano共振等离子体传感器

片上高灵敏折射检测

在金属-绝缘体-金属波导中集成多个方腔，打破对称性产生多个尖锐Fano共振，实现高灵敏度和高优值的折射率传感。

王毅琳 · Yuxuan, Tan · 陈朝 · 侯志灵

Optics Communications 2023

具体参数

灵敏度

约800 nm/RIU

拓展结构灵敏度

约875 nm/RIU

技术优势

优值（FOM）约1.845×10⁴

拓展结构优值约1.861×10⁴