自由曲面测量系统

310 μm 跟踪 0.3 nm 分辨

差分共焦与CCD图像结合，同时实现毫米级跟踪范围与亚纳米轴向分辨率的自由曲面测量系统。

赵维谦

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2024

参数信息

轴向线性跟踪范围

310 μm

轴向分辨力

0.3 nm

最大可测倾斜角度

20 °

测量重复性优于

9 nm