超声波椭圆振动凿子

轨迹自感应

通过压电片集成实现轨迹实时自监测，无需外部传感器即可稳定加工，同时支持倾斜椭圆轨迹调整，兼顾高效与精度。

Li, Zhiwei · Zhang J. · Feng P. · 郁鼎文 · Tian, Lan · 王健健

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

微肋加工速率

24,000 microribs/s

技术优势

轨迹无需外部测量

压电片集成在换能器中，实时监测椭圆轨迹，无需激光干涉仪等额外传感器。

加工速率达到每秒 24,000 条微肋

高速表面织构加工能力，适合批量化生产。

轨迹实时稳定监控

加工过程中轨迹被实时监控并保持稳定，确保成品质量一致性。

倾斜椭圆轨迹可调

装置安装在转台上可实现倾斜椭圆轨迹，适应不同加工需求。

应用场景

• 表面微纳加工：高速加工微肋阵列，用于摩擦调控或光学表面。
• 精密加工设备：集成感知的整机装置可直接用于生产线，无需额外测量设备。
• 振动监测：内置压电传感器替代外部测量，实时监控椭圆振动轨迹。