埃级可控去除
通过金属膜辅助的激光改性结合选择性蚀刻，在4H-SiC表面实现原子尺度分辨率的材料去除，并首次揭示从纳米到原子尺度的三阶段去除机制。
Wang, Jinshi
Nanomanufacturing and Metrology 2025
埃级深度分辨率
环境空气条件下
首次揭示三阶段去除机制（纳米到原子尺度）