单层转化仅需数十秒
采用莫来石吸盘，无需额外光吸收层即可将金属氧化物溶胶-凝胶转化为功能氧化物，大幅缩短制造时间且不牺牲器件性能。
Zetong, Li · 何伟 · Guangji, Wang · 张经纬 · Chai, Zhimin · 路新春
Advanced Science 2026
莫来石吸盘的热导率低，能限制热量耗散，使金属氧化物自身吸光升温，省去额外光吸收层，简化工艺并解除器件结构限制。
每层溶胶-凝胶膜在数十秒内转化为功能氧化物，远快于传统退火，适用于高速生产。
整体制造时间缩短两个数量级，器件性能不受影响，适合复杂集成电路的高通量生产。