谐振式多维力传感器

灵敏度最高提升31%

通过弹性结构与压电片布局的集成优化,解决了传统结构Z向对称性导致的非线性问题,实现全频段力感知。

赵剑 · Huachen, Zhou · 刘蓬勃 · Zeyuan, Dong · Hui, Huo · Haiyang, Li · Wang, Mingyan · Shiqiang, Zhang

Sensors and Actuators, A: Physical 2025

参数信息

模拟固有频率误差
3.00 %
模拟固有频率误差
0.19 %
模拟固有频率误差
0.19 %
X方向灵敏度提升
9.6 %
Y方向灵敏度提升
6.4 %
Z方向灵敏度提升
31.34 %

技术优势

解决了Z向非线性

通过集成优化,克服了传统结构Z向变形对称性导致的力-频率非线性。

灵敏度全面提升

优化后传感器在X、Y、Z方向的灵敏度分别提升9.6%、6.4%、31.34%。

模拟与实验高度吻合

前三阶模拟固有频率误差仅为3.00%、0.19%、0.19%,验证了模型可靠性。

应用场景