分辨率提升两个数量级
一种全溶液法金属氧化物图案化工艺，将线宽精度从几十微米推至亚微米，同时将边缘粗糙度压低到纳米级。
张经纬 · Chai, Zhimin · 王同庆 · 赵德文 · Busnaina, Ahmed A. · 任天令 · 路新春
ACS Nano 2024
线宽从几十微米缩至800 nm，满足高密度器件集成需求。
线边缘粗糙度仅16 nm，远优于传统溶液的数微米水平，保证图案精度。
只需控制相对湿度在30%以下，避免液滴凝结，无需复杂环境控制。
用氧化铟、氧化铟锡、氧化铝全溶液工艺制造TFT及NOT/NOR/NAND/AND门，证明可大面积集成。