CO₂辅助MPCVD金刚石

5英寸高透光

通过添加CO₂抑制杂质，实现大尺寸金刚石的高效制备。

Liping, Zheng · 刘鹏 · 养质量 · Siyi, Chan · Yongji, Lai · Chuang, Zhou · Zhao, Yun · 陈良贤 · 魏俊俊 · 刘金龙 · 安康 · 李成明

Carbon 2025

具体参数

红外透过率

{'zh': '69.6', 'en': '69.6'} %

平均厚度

{'zh': '1.1', 'en': '1.1'} mm

技术优势

原位除杂

CO₂分解产生的活性氧物种在生长过程中持续刻蚀非金刚石碳相并抑制氮掺杂，无需后处理即可获得高纯金刚石。

尺寸与质量兼得

在5英寸衬底上生长的多晶金刚石平均厚度达1.1 mm，红外透过率高达69.6%，突破了大面积金刚石质量不优的瓶颈。

成本可控

只需在现有DC电弧等离子体喷射CVD工艺中通入微量CO₂（0.14%），即可显著改善金刚石质量，无需额外设备投资，有利于工业化推广。

应用场景

• 红外光学窗口：用于红外窗口，在10.6 μm处透过率达69.6%，可用作CO₂激光器输出窗口。
• 高功率激光元件：高透过率与高热导率结合，可承受高功率激光辐照而不易损伤。
• 精密仪器窗口：大面积均匀高质量金刚石可直接切割成精密仪器所需窗口。