弯曲混合直线超声电机

正交振解耦低速稳

采用正交振动解耦方法，实现超声电机在低速区的稳定驱动与精确速度跟踪。

Li, He · 刘英想 · 邓杰

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2023

参数信息

目标速度下最大跟踪误差

0.2 mm/s

正弦波跟踪最大误差

0.67 mm/s

应用场景

• 精密运动控制：速度跟踪误差低，适合低速精确运动控制。
• 精密定位平台：低速稳定驱动，可直接用于精密定位平台。
• 微操纵器：低速平稳性适用于微操纵器的精细操作。