PbZr0.52Ti0.48O3薄膜

柔性可穿戴

在云母衬底上生长的PZT薄膜具有更大的剩余极化值和矫顽场,适合柔性可穿戴设备。

Wu, Zhi · Yifei, Liu · 周静 · Jiang, Pengcheng · Xiong, Xin · Huidong, Tang · Yuxi, Long · Jingdan, Yan · Yun, Wang

Coatings 2024

参数信息

最佳退火温度
750 °C
工作频率范围
100~1000 Hz

技术优势

能在云母上直接生长

避免柔性器件中常见的转移步骤,简化工艺。

柔性下保持铁电性

在云母衬底上生长的薄膜仍表现出良好的铁电性能,具备柔性应用潜力。

宽频段稳定工作

在100 Hz至1000 Hz频率范围内均表现出良好的铁电性能,满足多种动态应用。

应用场景