空气保护超声电化学铣削

微结构锐边高精

通过空气保护与超声辅助抑制杂散腐蚀，实现高精度复杂微结构的加工。

王明环 · Zhang, R. · Shang, Yongchao · Zheng, J. · Wang, Xindi · 许雪峰

Journal of Manufacturing Processes 2023

参数信息

最小岛尺寸

130 × 130 μm

表面粗糙度

154 nm

技术优势

杂散腐蚀被抑制

通过空气屏蔽和超声场的共同作用，非加工区域的杂散电流被有效阻断，从而保证了微结构边缘的锐利度。

精度达到百纳米级

加工出的表面粗糙度低至154 nm，同时最小岛尺寸为130×130 μm，满足高精度微结构的制造要求。

可加工复杂三维微结构

该方法能够制造具有锐利边缘和高精度的复杂微结构，突破了传统电化学加工的形状限制。

应用场景

• 微流控芯片：直接加工微流道与微结构，无需掩模或光刻，提升芯片制造灵活性。
• 微细加工：作为微细加工新工艺，实现复杂金属微结构的精密成型。
• 微纳制造：满足微纳制造中对高精度三维金属结构的加工需求。
• 光学微结构：可制作具有锐利边缘的光学微结构，提高光学元件性能。
• 精密模具：用于精密模具的微结构加工，提升模具表面质量和寿命。