异质结铟锌氧薄膜晶体管

载流子迁移率 84.3 cm²·V⁻¹·s⁻¹

本成果为一种高架金属金属氧化物(EMMO)架构的异质结薄膜晶体管,其沟道由不同阳离子组分的铟锌氧(InZnO)双层构成,在界面处形成二维电子气(2DEG),从而获得了比单层沟道更高的载流子迁移率。

Liao, Congwei

Journal of Semiconductors 2024

参数信息

迁移率
84.3 cm²·V⁻¹·s⁻¹
Threshold voltage
6.5 V
亚阈值摆幅
0.29 V/dec