载流子迁移率 84.3 cm²·V⁻¹·s⁻¹
本成果为一种高架金属金属氧化物(EMMO)架构的异质结薄膜晶体管,其沟道由不同阳离子组分的铟锌氧(InZnO)双层构成,在界面处形成二维电子气(2DEG),从而获得了比单层沟道更高的载流子迁移率。
Xiao, Li · Zhikang, Ma · Jinxiong, Li · Pan, Wengao · Liao, Congwei · 张盛东 · Zhuo, Gao · Dong, Fu · 陆磊
Journal of Semiconductors 2024