可控压力分布抛光工具

面形收敛率96.5%

通过控制抛光压力分布，使工具影响函数接近高斯形状，避免加工中的面形发散，实现高精度光学表面修形。

Li, Qixin · 马臻 · Yao, Yongsheng · DIng, Jiaoteng · Jiang, Xiangmin

Applied Sciences (Switzerland) 2025

参数信息

面形误差PV收敛率

96.5 %

面形误差RMS收敛率

97.9 %

面形误差RMS

6.043 nm

面形误差PV

64.875 nm

技术优势

面形不再发散

通过调整压力施加点位置，工具影响函数接近高斯形，避免加工过程中表面面形误差持续增大。

收敛率超96%

面形误差PV值三轮加工后收敛96.5%，收敛速度满足高精度修形需求。

精度达亚十纳米

加工后表面面形误差RMS值小于10 nm，满足超精密光学元件对面形精度的严格要求。

应用场景

• 超精密光学加工：通过优化工具影响函数形状，避免面形发散，提升超精密光学元件加工的一致性和收敛效率。
• 非球面光学制造：使小工具抛光适用于非球面加工，实现高精度面形控制，满足非球面光学元件的制造需求。
• 高精度表面修形：收敛率超过96%，可将初始误差大幅降低至亚十纳米RMS，适合高精度表面修形。
• 光刻物镜制造：面形精度RMS小于10 nm，满足光刻物镜对纳米级面形误差的要求。