液态基底EHD打印头

异形基底稳射流

通过液态基底形成双锥效应，克服了传统EHD打印在非平整、绝缘基底上的电场失稳问题。

Juchen, Li · Li H. · 朱晓阳 · Chunyu, Dong · Li, Zhenghao · Rui, Wang · Houchao, Zhang · Mingwei, Zhou · Donghai, Zhang · 章圆方 · 兰红波

Journal of Manufacturing Processes 2025

具体参数

线宽

{'zh': '20', 'en': '20'} μm

偏移

{'zh': '4', 'en': '4'} μm

技术优势

不受基底形貌影响

液态基底提供了光滑的均匀电场表面，即使原本是非平整或粗糙的基底也能形成稳定锥射流。

绝缘基底照样打印

液态层覆盖后消除了绝缘基底上电荷积累问题，让打印头在绝缘表面也能稳定工作。

偏移不到4 μm

在陶瓷基底上大面积打印时，线宽20 μm的偏移量小于4 μm，可满足高精度图案化需求。

双锥效应稳射流

液态基底上形成的双锥能有效控制残留电荷分布，使得打印稳定性显著高于传统EHD方式。

应用场景

• 微纳制造：用它直接在异形绝缘基底上打印微纳结构，省去传统工艺的转移或修平步骤。
• 柔性电子：在柔性绝缘基底上稳定打印导电图案，无需担心基底粗糙或绝缘性影响良率。
• 微纳制造设备：作为现有EHD打印平台的升级模块，直接拓宽可加工基底种类和面积。
• 微流控芯片加工：在绝缘或粗糙芯片基底上直接打印微通道和电极，免去键合/打磨预处理。