栅极漏电降至pA
通过离子注入源区实现小栅压调控,器件获得饱和输出特性并有效抑制栅极漏电。
Ruihan, Huang · Junxiang, Yang · 陈飞良 · Yuting, Zhou · Lixin, Sun · Haiquan, Zhao · 李沫 · 张健
IEEE Electron Device Letters 2025
栅极漏电流降至pA量级