离子注入改性SiC微结构

单脉冲高效成形

通过离子注入诱导非晶化，使激光单脉冲即可去除材料，配合选择性化学蚀刻实现自限制加工，在效率与表面质量间取得突破。

Wang, Jinshi

CIRP Annals - Manufacturing Technology 2024

技术优势

单次脉冲生成微结构

表面粗糙度达到亚纳米级

亚表面损伤显著降低

工艺具有材料选择性和自限制性