二维倍增莫尔缺陷检测法

点缺陷直接可视

通过二维数字倍增莫尔图像处理，可在宽视场内将硅单晶的点缺陷直观成像，无需逐点扫描。

Qingcui, Huang · Wang, Qinghua · 闫晓军

2024

技术优势

宽视场直检

一次图像处理即可覆盖大范围，点缺陷在放大后的原子结构图中更易被看见。

应变同步成像

在检测点缺陷的同时，还可测量硅单晶主方向上的应变分布。

应用场景

• 晶体缺陷检测：用二维倍增莫尔图像直接观察点缺陷，无需逐点扫描。
• 应变场成像：在缺陷检测同时获得主方向应变分布图。
• 半导体晶圆质检：对硅单晶片进行宽视场缺陷筛查和应变测量。