±200 μm行程 大范围扫描
采用单片式衔铁与柔性轴承实现双轴解耦驱动，专为扫描探针轮廓仪设计，可大范围、低串扰地完成表面形貌测量。
Zhou, Rongjing · Yan-Ning, Fang · 孔令豹 · 朱利民 · Zhu Z.
IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 2025
单片式衔铁提供双轴解耦驱动力，柔性轴承保证平面扫描解耦，实测动态串扰低于 -36.34 dB。
采用内模控制原理，原型机精确跟随 Lissajous 扫描轨迹，峰谷跟踪误差小于 0.37%。
经误差标定后，平台可对大面积微结构表面进行单次子孔径测量，峰谷形状误差在 ±60 nm 以内。