全压量程高灵敏
一种基于离子凝胶电介质的柔性电容传感器,能在正负压力范围内保持高灵敏度,突破了传统传感器仅能检测正压的限制。
Zhang, Mengxin · 谷明信 · 邵凌 · Gao, Haixin · Bihao, Sun · Li, Sen · Tang, Tian · Li, Nan · Ye, Yuanhang · 魏大程 · Yang, Ce · Wei, Dapeng
ACS Applied Materials & Interfaces 2023
传感器在 -98 至 100 kPa 的宽量程内可靠工作,覆盖了传统正压传感器无法触及的负压段。
负压段灵敏度达 84.45 nF/kPa,正压段达 25.61 nF/kPa,且具有循环稳定性,可重复使用。
离子凝胶介电层由聚乙烯醇和磷酸构成,通过砂纸倒模形成随机微结构,工艺简单、成本低廉。