超薄碳沉积层

氧化抑制优于石墨烯

电子束诱导制备的非晶碳层,无褶皱裂纹、与铜衬底界面间距小,抗氧化保护性能优于CVD单层石墨烯。

Feng, Panpan · Zhang, Dan · 张国旭 · 李晨蔚 · Wang, You · 陈冠英 · 甘阳

Small 2024

技术优势

无褶皱裂纹

SEM电子束诱导沉积的CDL不会形成褶皱和裂纹,而CVD石墨烯在生长和转移过程中易产生这些缺陷,缺陷处会成为氧扩散的通道。

界面结合更紧密

CDL与铜的界面间距小于石墨烯与铜的界面间距,DFT计算表明这是因为CDL与铜表面的吸附能更大,界面处不易累积氧或水。

抑制氧扩散

分子动力学模拟表明,水或氧在CDL/Cu中的扩散比在Gr/Cu中更困难,从而有效抑制了铜的氧化。

应用场景