低氧LTGA压电晶体

电阻率提升两个数量级

通过低氧气氛生长抑制AlTa反位缺陷，获得了电阻率比常规LTGA高两个数量级的高温压电晶体，可显著提升高温传感器低频灵敏度。

Dongjie, Liu · Linyu, Bai · 段秀兰 · 李妍璐 · 赵显 · Zhang, Shujun · 于法鹏

Acta Materialia 2025

参数信息

电阻率提升倍数

100 ×

技术优势

电阻率提高百倍

低氧气氛生长抑制了AlTa反位缺陷的形成，缺陷浓度降低使载流子迁移受阻，电阻率提升两个数量级，大幅改善低频传感性能。

专注低频探测

电阻率的提升直接增强了压电传感器在低频段的电荷保持能力，使传感器能够在高温环境下检测低频振动或压力信号。

应用场景

• 高温压电传感：用高电阻率LTGA晶片制作传感器，提升低频信号响应，适用于高温环境。
• 高温声波器件：高电阻率减少电荷泄漏，改善高温声波器件的信号稳定性和灵敏度。
• 航空发动机监测：用于发动机高温部位的振动和压力监测，低频响应更好，提升故障诊断能力。