电磁双轴纳米定位台

高频响大行程

采用法向应力电磁致动器与柔顺机构，实现紧凑结构下的高带宽与微米级行程，适用于高速精密扫描。

Zhao, Dongpo · Yurou, Yang · Zhu, Zihui · Niu, Yuhan · Siyuan, Fu · 王文

IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 2026

参数信息

行程

147.29 × 150.47 μm²

一阶谐振频率

760 Hz

最大扫描误差

±0.94 %

技术优势

大行程仍有高带宽

柔顺机构并联布置两个正交致动器，避免串联堆叠带来的低阶模态，一阶谐振达 760 Hz。

闭环扫描误差小

闭环控制下阿基米德螺旋与利萨如轨迹扫描最大误差低于 ±0.94%，可直接用于高精度表面扫描。

结构紧凑

两个法向应力电磁致动器直接与柔顺机构集成，省去传统直线导轨或音圈磁路，缩小整机体积。

应用场景

• 精密定位与扫描：用 760 Hz 带宽执行微米级精密扫描，替代音圈平台。
• 微纳操作：在亚微米精度下移动微纳物体，行程覆盖 147×150 μm²。
• 表面计量：闭环扫描误差低于 ±0.94%，可精确跟踪计量轨迹。