超高速旋转微孔加工电极

微孔粗糙度降92%

采用非水基电解质的电化学放电加工电极，通过超高速旋转同时改变放电介质和强化电解作用，能加工出无重铸层、表面粗糙度极低的金属微孔。

Shen, Jiwen · Weijing, Kong · 徐正扬 · 曾永彬 · Jiwen, Shen

Chinese Journal of Aeronautics 2024

参数信息

侧壁表面粗糙度

0.20 μm

阴极长度损耗

9.75 μm

阴极磨损比

6.5 %

技术优势

粗糙度降92%

转速从500 r/min增至40000 r/min时，侧壁粗糙度从2.54 μm骤降到0.20 μm，表面质量显著提升。

电极几乎不损耗

阴极长度损耗仅9.75 μm，磨损比6.5%，多次加工后尺寸稳定性好。

无重铸层

在优化的转速和电解质条件下，可加工出无重铸层的微孔阵列，避免后续去重铸层工序。

应用场景

• 微细电加工：替代传统微细电加工，加工微孔表面质量更高，电极损耗低。
• 精密微孔加工：直接加工高精度微孔，无需后续抛光或去重铸层。
• 微流控芯片模具：加工微流控芯片模具的微孔，保证流道表面光洁。
• 半导体微结构加工：在半导体微结构加工中加工高质量微孔，避免重铸层污染。