13mm磁流变抛光装置

小口径面形收敛高

面向小口径、陡峭或带浮雕结构的光学元件,13mm小尺寸磁流变抛光装置在低频面形收敛能力上大幅超越传统100mm装置。

Wang, Bo · 铁贵鹏 · 石峰 · Zhang, Wanli · 宋辞 · Shuangpeng, Guo

Journal of Manufacturing Processes 2023

参数信息

低频收敛能力
52.51 %
中频纹波谱幅度比
15
抛光区域峰值磁场强度
230 mT

技术优势

小口径元件抛光不再受限

13 mm抛光轮产生的去除函数尺寸远小于传统100 mm装置,可匹配小口径元件,避免去除函数过大导致面形难以精确修整。

低频收敛能力大幅提升

在20%面形修形量下,13 mm装置低频收敛能力达52.51%,而100 mm装置仅18.72%,小尺寸去除函数对低频误差具有更强修正能力。

中频误差可控,支持组合工艺

小尺寸装置去除中频材料会产生更大纹波幅度,因此需与100 mm大尺寸装置组合使用:粗抛用大尺寸保证效率,精抛用小尺寸控制低频误差,并避免单独使用小尺寸引入过大中频纹波。

应用场景