纳米级定位
在同一基板上集成500 nm至1.5 mm的周期与非周期混合结构，为半导体制造与检测系统提供高精度位置基准。
李景文 · Shengtong, Wang · 李星辉
Microsystems and Nanoengineering 2025
同一基板上实现从500 nm到1.5 mm的周期与非周期结构，无需多基板拼接，减少对准误差。
通过在掩模上刻蚀对准标记，确保不同结构区域之间的方向一致性，这是编码器件正常工作的关键。
该方法固有的工艺可扩展性为制造多功能光子架构提供了通用平台，而不限于编码器件。