超晶格光子晶体

0.16λ 半节距

由三元介质多层膜构成的超晶格光子晶体，可通过空间频率选择只让高k衍射波传播，从而在超分辨光刻中实现亚衍射极限图形，且具有厚度稳健性，放宽了制备要求。

Zhang, Wenpeng · Hanyun, Xue · 尚正国 · 李东玲 · She, Yin · Zhou, Yi · 向进 · Zhongquan, Wen · 陈刚 · 梁高峰

Optics Express 2025

具体参数

半节距

约65 nm

工作距离

160 nm

分辨率

约65 nm

技术优势

高均匀性和高对比度