纳米柱声子晶体反射器

声表面波器件缩小尺寸

采用纳米柱声子晶体阵列作为声表面波谐振器与滤波器的反射器，在更少阵列周期下实现有效声反射，从而缩小器件尺寸。

Workie, Temesgen Bailie · 鲍景富 · Hashimoto, Ken-ya

Micromachines 2025

具体参数

最大Bode-Q值

{'zh': '1600', 'en': '1600'}

最小插入损耗

{'zh': '3', 'en': '3'} dB

带外衰减

{'zh': '35', 'en': '35'} dB

技术优势

占位面积更小

声子晶体反射器在仅20个晶格周期下即可实现高Q值，无需大量传统反射栅，器件尺寸可显著缩小。

周期数要求低

即便采用较小数量的声子晶体阵列，反射器依然表现出有前景的性能，降低了制造复杂度和成本。

滤波器性能好

滤波器实现低于3 dB的插入损耗和超过35 dB的带外衰减，满足实际通信应用需求。

应用场景

• 声表面波传感器：缩小传感器芯片面积，提升阵列集成密度。
• 微纳制造：提供可制备的纳米柱声子晶体反射器结构参数。
• 精密仪器：用高Q值谐振器提升频率源稳定性。