精确测膜介电常数
用简单模型提取基片上薄膜的介电常数,无需复杂校正,适合10–20 GHz宽频测试。
Yu, Chengyong · Xuan, Ran · Zhang, Yunpeng · Zhang, Zhuoyue · Gao, Chong · Long, Jiawei · Xue, Niu · Zheng, Hu · 李恩
IEEE Microwave and Wireless Technology Letters 2024
把多层样品等效为单层介质,有效修正法兰处边缘场效应,使简单模型也能准确提取薄膜介电常数。
用多层介质填充封闭腔的简单模型就能准确提取非对称结构中的薄膜介电常数,省去复杂校正步骤。
在10–20 GHz频段内通过数值仿真和实验测试证实了方法的有效性,结果可信。