尖端振动凸微结构

形状按需可定制

将尖端加工的高分辨与振动加工的高效率结合，实现形状可按振动轨迹定制的凸微结构阵列。

Jiahui, Liu · Feng P. · Ji, Hansong · Zhang J. · Zhang X. · 王健健

International Journal of Extreme Manufacturing 2026

技术优势

形状自由定制

振动轨迹可以按需设计，从而加工出正弦形、O形、U形以及混合形状的凸微结构。

效率大幅提升

采用高频振动，在每个振动周期移除材料并形成结构，显著提高了凸微结构的产率。

形貌可预测

建立了基于工艺机理与实验数据融合的表面生成预测模型，实验结果验证了其准确性。

材料适应性强

在铝上验证了可行性，并开展了多种材料的加工可行性研究。

应用场景

• 表面功能微结构：定制凸结构形状以调控表面润湿、摩擦等功能特性。
• 微流控芯片：在芯片表面加工凸微结构以控制流体流动或混合。
• 光学微结构：加工特定形状的凸微结构以实现光学调制或抗反射等功能。
• 精密表面加工：为精密表面提供高效且形状可控的凸微结构加工新方法。